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OHT 空中走行式搬送系统
金莎js9999777的网址自制的高空走行式无人搬运车（OHT）为高架搬送系统，主要搬运Foup至各制程设备间的Load/Unload Port，OHT夹取Foup于高空轨道输送系统上行进，除可有效节省及利用空间外，另对比传统人工搬送作业流程，更能大幅提高搬送效率，节省搬送时间。在不占用人员走道的前提下以及厂房高度约2.7米左右即可导入，将无尘室内的空间使用率最大化。藉由高空走行式无人搬运车可以直接存取Stocker load port上的货物，不受运行路线上的机台/人员等障碍物干涉。
OHT属于悬吊式空中搬运系统，配合客户需求将晶圆盒(FOUP)在不同的制程区间或是跨厂区栋别进行串连搬送。由于不须透过Stocker作为中转站，全厂性的OHT运用可实现EQ to EQ的直接搬送，大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time)。
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