EFEM 晶圆传送设备

EFEM(Equipment Front End Module)为半导体 Loader/Unloader ,可为不同晶圆尺寸提供设备前端上/下料之自动化模块。金莎js9999777的网址EFEM可以完全满足客户制程机台需求与限制,开发出适用于任何半导体制程设备之自动化需求。

从前端机器人之选用, EFEM与主机台物流方式, SECS/GEM与上位系统的沟通与BC(Block Control)整合,金莎js9999777的网址拥有经验极丰富的工程人员,可大幅降低客户导入EFEM风险及导入时间。
 
產品介紹及應用
TOP goTop
WeChat QRcode

偵測到您已關閉Cookie,为提供最佳体验,建议您使用Cookie浏览本网站以便使用本站各项功能

本公司严格保护您的隐私并确保您的个人资料受到保护。本公司将定期更新隐私权政策,以遵循该个人资料保护法,请您参照我们最新版的隐私声明。本网站使用cookies以提供更好的浏览体验,如需了解更多关于本网站如何使用cookies 请按 这里
 
XML 地图