OHT 空中走行式无人搬运车

OHT属于悬吊式空中搬运系统，有效地利用制程设备的上方空间，架设轨道以及运输升降机构。轨道长度可由从数百公尺至数十公里，配合客户需求将晶圆盒(FOUP)或是玻璃传送卡匣(Cassette)在不同的制程区间或是跨厂区栋别进行串连搬送。由于不需透过Stocker做为中转站，全厂性的OHT运用可实现EQ to EQ的直接搬送，大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time)。国内外中小尺寸TFT-LCD面板厂，广泛利用OHT进行生产车间玻璃基板或是液晶面板自动化搬运。在半导体领域中，OHT更被国际半导体技术蓝图(International Technology Roadmap for Semiconductors, ITRS)更指定为新一代18吋晶圆厂主要运输工具，是整厂工厂的命脉，高稳定度与智能逻辑控制将是绝对关键。

为符合LCD、半导体产业的需求应用，金莎js9999777的网址团队提供LCD panel tray、FOUP、Metal Cassette、Magazine及JEDEC tray等客制化OHT台车，并配合专业AutoMod模拟与灵活轨道设计，建置前期物流搬送的最佳分析与路径规划。配合软件智能逻辑控制，预防OHT车辆发生碰撞堵塞或因等待而造成的闲置，因此能够大幅提高产能绩效以及设备利用率。机构部分采非接触式供电(HID)与无发尘零件，可达无尘室严格的洁净等级要求(Class10-100以下)。