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2016.10.03

OHS-高速卡匣运送车辆系统

金莎js9999777的网址公司为 LTPS制程(G6/六代),开发全新OHS车辆搬运系统(Over Head Shuttle System),在2015年已接获订单,并于2016年交付客户使用,目前已有 Class 10 (0.1um)高洁净度的台湾工程实绩。

OHS 系统为无尘室 Stocker 外围设备整合的重要角色,主要负责每一座 Stocker 制程与成品的运送与管理,其运送物为玻璃卡匣(Cassette),在多座 Stocker 之间运送,其设置全由高架悬吊组成,可节省AMHS 占用平面空间、降低 AMHS 建置成本、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间,实现Class 10(0.1um)高洁净度控制。

金莎js9999777的网址公司针对此类型的循环车辆系统,其运用在一般环境(非无尘室)的工程实绩,已有多年累积的设计经验,从早期所开发变频开回路控制,进展至变频闭回路控制,最后发展至伺服闭回路控制,已获得各产业客户的肯定与采用。近年来,因应无尘室环境设备需求,除藉由过去成功开发的技术外,加上近年来无尘室 Stocker 的丰富实务经验,现已全新发展成功 OHS系统设备,并采台湾自主发展的非接触电轨的供电系统(HID)。

本设备最大特点,是轨道的 Layout 规划布置能够串接多座 Stocker 系统,走行路径及轨道形状没有受限制,可以为 90度转弯或U型转弯或S型曲线路径等多种配置,可依厂区的空间限制与座落不同位置的 Stocker进行串接,长路径规划可利用多处设置分歧轨道,以达到最短路径的派车功能,大幅减少运送时间,与传统封闭循环(单一循环)的轨道路径大为不同,智能型派车逻辑在指派任务的同时,轨道上的车辆会自行决定最佳路径,选择最快速(最短)的路径抵达 Stocker,OHS 车辆的直线运行速度最高可达180 (m/min),及转弯速度为 30 (m/min),其稼动率与车辆数量计算,可经由金莎js9999777的网址公司物流仿真软件计算获得,同时也备有精密的动态仿真软件,计算气流分析状态,为客户作全方面的技术支持。
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